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高效过滤器安装：
（1）高效过滤器安装前，洁净室的内装修工程必须全部完成，系统中末端过滤器前的所有空气过滤器应安装完毕，且经全面清扫、擦拭，系统连续试运行12h以上。
（2）高效过滤器应在现场拆开包装，其外层包装不得带入洁净室，但其最内层包装必须在洁净室内方能拆开。
（3）安装前应进行外观检查，重点检查过滤器有无破损漏泄等，并按规范要求进行现场扫描检漏，且应合格；合格后应立即安装。
（4）高效过滤器安装方向应正确，密封面应严密。机械密封时，应采用密封垫料，厚度宜为6～8mm，密封垫料应平整。安装后垫料的压缩应均匀，压缩率宜为25%～30%。采用液槽密封时，槽架应水平安装，不得有渗漏现象，槽内不应有污物和水分，槽内密封液高度不应超过2/3槽深。密封液的熔点宜高于50℃。